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蘇州華林科納半導體技術設備有限公司

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硅片清洗機、硅片清洗機、單槽石墨舟、切割后清洗機

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產品品牌華林科納

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更新日期2015-08-21 16:46

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商品信息

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品牌:

華林科納

所在地:

江蘇 蘇州市

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蘇州華林科納半導體清洗機
    該設備是用于半導體芯片清洗的專用設備,配進口氮氣槍、噴淋水槍,可選配清洗槽、噴淋清洗、三級清洗、恒溫腐蝕槽等模塊。該設備采用進口NPP防腐型結構,是半導體設備清洗工藝的理想設備。可提供2-8寸晶片的清洗、腐蝕、顯影成套設備,設備的主要技術參數可按用戶要求定做。
   
   
    蘇州華林科納硅片腐蝕清洗機
    腐蝕機適用于半導體工藝中對硅片周邊進行濕法化學腐蝕形成均勻一致的斜角,本設備技術先進,適用于規模生產。本設備是由電氣控制、機架、箱體、槽體、管路、等部分組成。槽體是由去離子水洗槽、有機溶劑槽、酸槽、堿槽構成。硅片腐蝕機管路部分為保證工作介質的潔凈和避免雜質析出,特采用進口氣動閥、PFA、PVDF、管道,全氟循環系統。除裝片和取片外,其余工藝均可自動完成。電控部分:人機界面為觸摸屏,方便美觀。
   
   
    蘇州華林科納半導體硅(芯)片清洗機
    該設備主要用于清除硅(芯)片表面的廢屑、金屬離子等物質,是硅(芯)片生產過程中重要工序。設備主要技術特點:1.可靠的控制系統;2.觸摸屏控制顯示 ;3.可設置和存儲工藝菜單;4.高壓去離子水泵5.噴頭H軸Y軸調節6.在線電阻率檢測水質;7.清洗后高純氮氣干燥模塊;8.自動排水裝置;9.對硅片定位框架的安全定位。設備的主要技術指標可按用戶要求定做。
   
   
    蘇州華林科納全自動硅片清洗機
    產品概述: 進口伺服驅動機構及機械手臂,清洗過程中無需人工操作。 通過PLC實現控制,全部操作由觸摸屏界面完成。 可預先設制多條清洗工藝,可同時運行多條工藝。 自動化程度高,適用于批量生產,確保清洗質量的一致性。 自動氮氣鼓泡裝置可有效提高產品質量,縮短清洗時間??蛇x裝層流凈化系統及自動配酸裝置。

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