半導體設備、太陽能光伏設備、液晶濕制程設備、真空設備等
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更新日期2015-08-21 16:46
品牌: |
CSE |
所在地: |
江蘇 蘇州市 |
起訂: |
≥1 臺 |
供貨總量: |
111 臺 |
有效期至: |
長期有效 |
型號: |
CSE-SC09-NUX |
產品簡介:
本設備適用于去除硅晶圓片工件表面的油污及其他有機物、除膠、去金屬離子等。
設備由清洗槽部分、伺服系統及機械臂部分、層流凈化系統、電氣控制系統、機架及整機部分組成。
清洗槽部分由有機溶劑槽、去離子水槽、酸槽或堿槽等組成。
關鍵件均采用進口原件,包括氣動閥,PFA管道,全氟循環系統等,保證工作介質(酸、堿)的潔凈度,避免雜質析出。
整體采用德國進口工程塑料焊接組合加工而成,結構合理,外型美觀。
工藝過程全自動,機械手在槽間的轉換由兩套伺服系統控制,可存儲多條工藝時序,方便使用。
人機界面為觸摸屏,方便直觀,操作簡便。
.除裝片和取片需人工外,其余工藝動作均可自動完成。
設備適用于微電子半導體行業,也適合于高校化學實驗室作實驗濕臺、腐蝕臺。
非標規格,具體規格依客戶工藝確定。
部分客戶:
關于我們:
主要產品:顯影機,RCA清洗機,EKC清洗機,外延片清洗機,拋光片清洗機,切片后清洗機,劃片后清洗機,石英鐘罩清洗機,氫氟酸清洗機,石英坩堝清洗機,硅片清洗機,二氧化硅清洗機,硅周清洗機,硅腐蝕機,挖槽機,記號腐蝕機,鋁層腐蝕機,柵氧化清洗機,光刻顯影機,光刻后清洗機,蝕刻機,襯件清洗機,蒸發前清洗機,部件清洗機,背面腐蝕清洗機,多層金屬腐蝕機,去膠清洗臺,背面處理清洗機,外延片清洗機,金屬化后清洗機,金屬膜刻蝕機,多功能清洗機,硅片腐蝕機,SK1腐蝕機,立式鐘罩清洗機,花籃清洗機,超聲波清洗機,兆聲波清洗機,濕法清洗臺,藍寶石基片清洗機,砷化鉀片清洗機,鍺片清洗機,二流體清洗機,氮氣儲存柜,裝片機,甩干機,IPA干燥機,烘干機,CDS系統,尾氣處理機,硅片鍍金臺,倒片機,單片清洗機,邊緣SiO2剝離機,硅微粉清洗機,液晶濕法清洗機,液晶減薄刻蝕機,玻璃清洗機,ADD電極顯影機,BUS電極顯影機,ITO PR剝膜機,ITO PR顯影機,ITO刻蝕機,RIB PR顯影機,電極再生清洗機,介質障壁再生清洗機,熒光體再生清洗機,SM清洗機,PR前清洗機,PI后清洗機,多晶硅料(塊)清洗機,單晶硅料(塊)清洗機,硅料酸洗機,硅芯硅棒清洗機,硅片制絨清洗機,電池片酸洗設備,去磷硅玻璃清洗機,石英管清洗機,石墨清洗機,石墨煮沸機,石墨件清洗機,白玻璃清洗機,光刻后玻璃清洗機,磨邊后玻璃基板清洗機,PIN薄膜沉積前清洗,HF供酸機,HNO3供酸機,HCL供酸機,手動背面去膠機,LED晶片清洗機,硼擴散清洗機,退火清洗機等。
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