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蘇州華林科納半導體技術設備有限公司

半導體設備、太陽能光伏設備、液晶濕制程設備、真空設備等

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超凈手工清洗、KOH清洗機、制絨設備、新增有機清洗機

產品價格面議

產品品牌CSE

最小起訂≥1 臺

供貨總量111 臺

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更新日期2015-08-21 16:46

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商品信息

基本參數

品牌:

CSE

所在地:

江蘇 蘇州市

起訂:

≥1 臺

供貨總量:

111 臺

有效期至:

長期有效

型號:

CSE-SC09-NUX
詳細說明

產品簡介:

 

本設備適用于去除硅晶圓片工件表面的油污及其他有機物、除膠、去金屬離子等。

設備由清洗槽部分、伺服系統及機械臂部分、層流凈化系統、電氣控制系統、機架及整機部分組成。

清洗槽部分由有機溶劑槽、去離子水槽、酸槽或堿槽等組成。

關鍵件均采用進口原件,包括氣動閥,PFA管道,全氟循環系統等,保證工作介質(酸、堿)的潔凈度,避免雜質析出。

整體采用德國進口工程塑料焊接組合加工而成,結構合理,外型美觀。

工藝過程全自動,機械手在槽間的轉換由兩套伺服系統控制,可存儲多條工藝時序,方便使用。

人機界面為觸摸屏,方便直觀,操作簡便。

.除裝片和取片需人工外,其余工藝動作均可自動完成。

設備適用于微電子半導體行業,也適合于高校化學實驗室作實驗濕臺、腐蝕臺。

非標規格,具體規格依客戶工藝確定。

 

 

部分客戶:

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關于我們:

 

蘇州華林科納半導體設備技術有限公司由中國科學院蘇州納米技術與納米仿生研究所合資成立于2008年3月,投資4500萬元。主要從事半導體設備、太陽能光伏設備、液晶濕制程設備、真空設備的研發、技術推廣和生產銷售。
公司以中科院納米所的研究平臺和技術團隊為技術依托,研發生產中高端半導體設備。公司以品質為根本,以創新為突破點,走設備研發與工藝研究相結合的道路,使設備能夠滿足和引領最新的工藝。公司的研發團隊由張寶順博士、王敏銳博士、張永紅博士等十多名在半導體、太陽能光伏及液晶行業有多年設備和工藝經驗的專業人士組成。
 

主要產品:顯影機,RCA清洗機,EKC清洗機,外延片清洗機,拋光片清洗機,切片后清洗機,劃片后清洗機,石英鐘罩清洗機,氫氟酸清洗機,石英坩堝清洗機,硅片清洗機,二氧化硅清洗機,硅周清洗機,硅腐蝕機,挖槽機,記號腐蝕機,鋁層腐蝕機,柵氧化清洗機,光刻顯影機,光刻后清洗機,蝕刻機,襯件清洗機,蒸發前清洗機,部件清洗機,背面腐蝕清洗機,多層金屬腐蝕機,去膠清洗臺,背面處理清洗機,外延片清洗機,金屬化后清洗機,金屬膜刻蝕機,多功能清洗機,硅片腐蝕機,SK1腐蝕機,立式鐘罩清洗機,花籃清洗機,超聲波清洗機,兆聲波清洗機,濕法清洗臺,藍寶石基片清洗機,砷化鉀片清洗機,鍺片清洗機,二流體清洗機,氮氣儲存柜,裝片機,甩干機,IPA干燥機,烘干機,CDS系統,尾氣處理機,硅片鍍金臺,倒片機,單片清洗機,邊緣SiO2剝離機,硅微粉清洗機,液晶濕法清洗機,液晶減薄刻蝕機,玻璃清洗機,ADD電極顯影機,BUS電極顯影機,ITO PR剝膜機,ITO PR顯影機,ITO刻蝕機,RIB PR顯影機,電極再生清洗機,介質障壁再生清洗機,熒光體再生清洗機,SM清洗機,PR前清洗機,PI后清洗機,多晶硅料(塊)清洗機,單晶硅料(塊)清洗機,硅料酸洗機,硅芯硅棒清洗機,硅片制絨清洗機,電池片酸洗設備,去磷硅玻璃清洗機,石英管清洗機,石墨清洗機,石墨煮沸機,石墨件清洗機,白玻璃清洗機,光刻后玻璃清洗機,磨邊后玻璃基板清洗機,PIN薄膜沉積前清洗,HF供酸機,HNO3供酸機,HCL供酸機,手動背面去膠機,LED晶片清洗機,硼擴散清洗機,退火清洗機等。

 
我們期待與您的合作
聯系電話:18915583873  王女士  QQ:1296472079

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