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更新日期2011-12-21 09:45
品牌: |
萊特萊德 |
所在地: |
遼寧 沈陽市 |
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長期有效 |
天津電子工業超純水設備,天津超純水設備,天津多晶硅超純水設備
主要用途:
微電子產品生產用高純水,半導體、顯象管制造業用超純水,集成電路板生產清洗用超純水,蓄電池、鋰電池、太陽能電池、干電池等生產用水。
1.電子工業超純水概述 天津電子工業超純水設備,天津超純水設備,天津多晶硅超純水設備
半導體、集成電路芯片及封裝、液晶顯示、高精度線路板、光電器件、各種電子器件、微電子工業、大規模、超大規模集成電路需用大量的純水、高純水、超純水清洗半成品、成品。集成電路的集成度越高,線寬越窄,對水質的要求也越高。目前我國電子工業部把電子級水質技術分為五個行業等級,分別為18MΩ.cm、15MΩ.cm、10MΩ.cm、2MΩ.cm、0.5MΩ.cm,以區分不同水質。
2.制備電子工業超純水的工藝流程
電子工業制備超純水的工藝大致分成以下3種:
1、采用離子交換樹脂制備電子工業超純水的傳統水處理方式,其基本工藝流程為:原水→多介質過濾器→活性炭過濾器→精密過濾器→中間水箱→陽床→陰床→混床(復床)→超純水箱→超純水泵→后置保安過濾器→用水點
2、采用反滲透水處理設備與離子交換設備進行組合制備電子工業超純水的方式,其基本工藝流程為:原水→多介質過濾器→活性炭過濾器→精密過濾器→中間水箱→反滲透設備→混床(復床)→超純水箱→超純水泵→后置保安過濾器→用水點
3、采用反滲透設備與電去離子(EDI)設備進行搭配制備電子工業超純水的的方式,這是一種制取超純水的最新工藝,也是一種環保,經濟,發展潛力巨大的超純水制備工藝,其基本工藝流程為:原水→多介質過濾器→活性炭過濾器→精密過濾器→中間水箱→反滲透設備→電去離子(EDI)→超純水箱→超純水泵→后置保安過濾器→用水點
3.EDI結構和工作原理 天津電子工業超純水設備,天津超純水設備,天津多晶硅超純水設備
EDI常與RO連用, 構成RO-EDI純水系統。如上所述,EDI已設計成標準模塊,EDI單元就是由若干模塊組合而成。每個EDI模塊結構如圖 1 所示, 有數個雙腔室夾在兩個電極(加直流電) 之間,呈層疊式板框結構;雙腔室包括淡水腔(用D表示) 和濃水腔(用C表示);二腔之間隔以一對陰、陽離子膜(亦稱陰向膜或陽向膜) ,陰、陽膜間裝填陰陽樹脂混合床構成D室;該陰、陽膜分別與另一D室中的陽、陰膜間構成C室。
進水按一定比例通過C室和D室。離子在D 室的行為可以理解為四個過程:
①離子在電場作用下向濃水室遷移;
②離子與樹脂的結合;
③水的電離和遷移, 遷移到C室中的H+ 和OH- 離子又結合成水;
④由于電場作用,離子不斷從樹脂上離解, 使樹脂不斷再生。
與普通混床不同之處在于, 進入D室中的陰、陽離子先是與樹脂結合, 而后在直流電場作用下從樹脂上不斷離解, 分別通過陰、陽膜向陽極和陰極移動, 樹脂同時得以再生。由于上述平衡作用, 在水流方向上形成濃度梯度, 可根據進水情況和出水要求調節電流(電壓) 大小, 使流出的水為不含陰、陽離子的純水; 由于膜對陰、陽離子的選擇通透性, 進入C室的離子不能通過另一極膜而在C室濃縮。
典型的EDI系統中, 90%~ 95% 的進水是通過D腔的, 5%~ 10% 的進水通過C腔。為了防止結垢, 濃水用泵強制循環, 高速通過膜面。濃水部分排放; 排放的濃水可返回RO再處理。
天津電子工業超純水設備,天津超純水設備,天津多晶硅超純水設備
4.電子工業超純水設備特點
電子工業超純水設備通常由多介質過濾器,活性碳過濾器,鈉離子軟化器、精密過濾器等構成預處理系統、RO反滲透主機系統、離子交換混床(EDI電除鹽系統)系統等構成主要設備系統。原水箱、中間水箱、RO純水水箱、超純水水箱均設有液位控制系統、高低壓水泵均設有高低壓壓力保護裝置、在線水質檢測控制儀表、電氣采用PLC可編程控制器,真正做到了無人值守,同時在工藝選材上采用推薦和客戶要求相統一的方法,使該設備與其它同類產品相比較,具有更高的性價比和設備可靠性。
5.電子工業超純水的應用領域
1、半導體材料、器件、印刷電路板和集成電路成品、半成品用超純水;
2、超純材料和超純化學試劑勾兌用超純水;
3、實驗室和中試車間用超純水;
4、汽車、家電表面拋光處理;
5、光電子產品;
6、其他高科技精微產品;
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