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西安長峰儀表有限公司

TKZM-20智能脈沖控制儀TKZM-III-6,TKZM-III-12

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DHPS系列直流濺射等離子體實驗裝置

產品價格78.00元/支

產品品牌西安慶成

最小起訂≥1 支

供貨總量4245 支

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更新日期2015-09-29 11:43

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商品信息

基本參數

品牌:

西安慶成

所在地:

陜西 西安市

起訂:

≥1 支

供貨總量:

4245 支

有效期至:

長期有效
詳細說明
DHPS系列直流濺射等離子體實驗裝置
裝置采用同軸二極濺射結構,靶臺和靶距離可調節,濺射基片可進行控溫加熱;
濺射氣壓、濺射氣源流量可調節,可研究不同氣壓、氣源流量對薄膜濺射的影響
;反應腔體采用石英玻璃管,可直觀地觀察到濺射現象;工作氣體可調節更換,
并可多路氣體混合工作。可以完成光學薄膜材料的制備及其光學特性的測量、金
屬薄膜的制備等實驗。
主要實驗內容:
◆光學薄膜材料的制備及其光學特性的測量;
◆金屬薄膜的制備實驗;
◆理解直流濺射原理,掌握直流濺射薄膜材料的工藝方法。
主要技術特點:
◆濺射靶臺和濺射靶距離可調節,研究在不同距離時對薄膜濺射的影響;
◆濺射基片可進行加熱,加熱溫度可控,研究基片溫度對薄膜濺射的影響;
◆濺射氣壓、濺射氣源流量可調節,研究不同氣壓、氣源流量對薄膜濺射的影響
◆反應腔體采用石英玻璃管,可直觀地觀察到濺射現象;
◆供電電源:AC 220V,50 Hz。

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