廢氣經預處理后首先進入等離子廢氣處理設備的核心處理區域----等離子凈化區，廢氣與低溫等離子體(注入式)發生充分接觸，大部分廢氣分子被等離子體轟擊、氧化后變成無毒、無味的氣體。然后夾雜著部分低溫等離子體的煙氣到達光化學模塊，煙氣成分在氧化劑和光的協同作用下持續發生氧化分解，最終生成二氧化碳和水，從而達到凈化廢氣的目的。

處理單元介紹：

(1)低溫等離子模塊：異味氣體與低溫等離子體發生充分接觸，異味氣體在低溫等離子體的轟擊作用下，打開異味氣體分子鏈，破壞其分子結構，發生一系列復雜的氧化還原反應，最終產物為二氧化碳和水等無害物質。

(2)光化學模塊：在高強輻照場作用下，廢氣分子的能態發生變化，由低能態轉變為高能態，并伴隨產生活潑的次生氧化劑，廢氣分子在氧化劑和光的協同作用下持續發生氧化分解，最終生成二氧化碳和水，達到廢氣凈化的目的。

(3)全自動化水質監控系統：等離子凈化器具備全自動化水質監控系統，可對設備水質進行實時檢測和監控，始終控制水質在正常運行范圍之內，保證系統的正常運行和高的處理效率。