真空泵機組出現內漏是一個非常麻煩的事情，并且這種問題還不容易發現，從而會對機組設備的正常使用造成不小的影響。因此大家一定要學會判斷是否發生了內漏問題。

對于真空泵機組出現內漏的話，主要的就是發生在有水冷套的設備上，這個時候，我們如果查外漏沒有什么疑點的話，但是要留意是不是有機械泵的抽速來看，是不是有比較明顯的一個偏低，還有就是對于真空計示值低，再者如果發現機械泵油很快乳化，還有就是真空室內的鐵基零部件明顯銹蝕，如果出現以上的情況的話，基本的就可以判斷是內漏無疑了。

當機組出現內漏的情況，我們要做的就是把其內壁清理干凈，然后的話就是通冷卻水，看它是不是有濕潤點的現象，它的濕潤處也就是我們所說的漏點。如果是出現小漏和微漏的情況的話，就比較難查。這個時候，我們常用的方法就是要利用在高真空狀態下，對于電離管對某些氣體反應敏感來對其進行檢漏。不過對于這種方法檢漏的話一定的要有耐心，好是經過反復的確認，這樣的話，對于我們的漏點也就可以進行確認了。

如果于機組出現大的漏點，我們這個時候就可以用火焰法，直接的利用火苗的偏移的情況，對于我們的漏點進行找出。

所以大家可以定期對真空泵機組進行一下檢查，從而及時發現機組設備是否存有內漏問題以及也可以順便檢查機組是否存在其他問題，這樣就可以及時發現，及時修復了。

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