整個流程由空氣壓縮及凈化、空氣分離、液氮汽化組成。

空氣壓縮及凈化 :空氣經空氣過濾器清除灰塵和機械雜質后進入空氣壓縮機，壓縮至所需壓力，然后送入空氣冷卻器，降低空氣溫度。再進入空氣干燥凈化器，除去空氣中的水份、二氧化碳、乙炔及其它碳氫化合物。

空氣分離 :凈化后的空氣進入空分塔中的主換熱器，被返流氣體（產品氮氣、廢氣）冷卻至飽和溫度，送入精餾塔底部，在塔頂部得到氮氣，液空經節流后送入冷凝蒸發器蒸發，同時冷凝由精餾塔送來的部分氮氣，冷凝后的液氮一部分作為精餾塔的回流液，另一部分作為液氮產品出空分塔。

650立方深冷制氮設備液氮汽化 :由空分塔出來的液氮進液氮貯槽貯存，當空分設備檢修時，貯槽內的液氮進入汽化器被加熱后，送入產品氮氣管道。

深冷制氮可制取純度≧99.999%的氮氣。

透平膨脹機:是制氮裝置用來產生冷量的旋轉式葉片機械，是一種用于低溫條件下的氣體透平。透平膨脹機按氣體在葉輪中的流向分為軸流式、向心徑流式和向心徑軸流式；按氣體在葉輪中是否繼續膨脹又分為反擊式和沖擊式，繼續膨脹為反擊式，不繼續膨脹為沖擊式?？辗衷O備中廣泛采用單級向心徑軸流反擊式透平膨脹機。

當金屬在加硬至冷卻過程中, 其中的合金與碳產生溶解并結合及擴散形成奧氏體 , 在冷卻過程時, 由于低溫產生壓制而形成馬氏體, 而由于馬氏體的最終轉變點非常低, 在超低溫時由于組織體積收縮, 晶格常數縮細而加強碳原子析出的驅動力, 于是馬氏體的基體析出大量超微細碳化物, 這些超微細結晶體會使物料的強度提高, 同時增加耐磨性與剛性。比如: 高速工具鋼  的 mf點為超過 -190°C, 因此淬火冷卻到室溫會殘留大量奧氏體, 因而降低金屬的硬度、耐磨性和使用壽命, 同時因為奧氏體的不穩定易發生組織轉變而導致的體積變化，造成金屬碎裂, 再者, 還有許多物理性能特別是熱性能和磁性下降。只要將金屬置于超低溫環境下, 其中的奧氏體會轉化成馬氏體, 內應力因而消除。