工業蒸餾方法制備的純水。可分一次和多次蒸餾水。水經過一次蒸餾，不揮發的組分（鹽類）殘留在容器中被除去，揮發的組分（氨、二氧化碳、有機物）進入蒸餾水的初始餾分中，通常只收集餾分的中間部分，約占60％。要得到更純的水，可在一次蒸餾水中加入堿性高錳酸鉀溶液，除去有機物和二氧化碳；加入非揮發性的酸（硫酸或磷酸），使氨成為不揮發的銨鹽。

達到水質在線測標準：工業蒸餾水電阻5MΩ*cm；去離子水電阻大于10MΩ*cm；無離子水大于10MΩ*cm,   DI超純水大于18MΩ*cm,工業超純水電阻大于15MΩ*cm；電池專用水電阻大于10MΩ*cm。

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