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薄膜折射率測試概述

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  一、薄膜折射率測試概述

  RT-V 系列反射透射測量儀,采用進口氘鹵二合一光源,結合高性能分光光譜儀,可測量獲得紫外到近紅外光譜范圍內薄膜的反射率和透射率光譜,并進一步計算獲得樣品色坐標,以及薄膜厚度、光學常數等信息。

  高性價比穿透率、反射率測量解決方案

  色坐標計算和薄膜特征解析

  模塊化定制,支持在線集成應用

  二、薄膜折射率測試產品特點

  采用高性能進口氘鹵二合一光源,光譜范圍覆蓋可見光到近紅外范圍;

  支持全光譜范圍反射率高精度量測,基于薄膜層上下界面反射光干涉原理,輕松解析單層至多層薄膜特征;

  三、薄膜折射率測試產品應用

  RT系列反射透射測量儀,可實現各種透明、低對比度、高反射率樣品反射率和穿透率光譜快速精準測量,并進一步計算獲得樣品色坐標、薄膜樣品厚度及光學常數。廣泛應用于各種濾光片、濾鏡、鏡頭、玻璃、染色液、薄膜的測量。

  薄膜折射率測試儀主要基于光學原理,通過檢測光在薄膜中的傳播特性來確定薄膜的折射率。常見的原理包括反射法和透射法。

  反射法

  當光線照射到薄膜表面時,一部分光被反射回來。根據菲涅爾公式,反射光的強度、偏振狀態等與薄膜的折射率有關。

  例如,對于垂直入射的光,在兩種介質(如空氣和薄膜)的界面處,反射率是周圍介質(如空氣)的折射率。通過測量反射光的強度等參數,可以反推出薄膜的折射率。

  橢圓偏振法是一種先進的反射式測試方法。它利用橢圓偏振光照射薄膜,由于薄膜對不同偏振方向的光具有不同的反射系數,導致反射光的偏振狀態發生變化。通過分析這種變化,可以得到薄膜的折射率和厚度等信息。

  透射法

  光透過薄膜時,會發生折射和部分吸收。根據斯涅爾定律,光從一種介質進入另一種介質時,會發生折射,折射角與兩種介質的折射率有關。

  對于透射光,其強度也會受到薄膜的折射率和厚度的影響。例如,當光垂直入射時,透射光強度是入射光強度d是薄膜厚度。通過測量透射光的強度、相位等參數,結合已知的薄膜厚度等信息,可以計算出薄膜的折射率。

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